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スペーサーガラス

概要

MEMSをはじめとする半導体基板と組み合わせて多層構造の実装に最適。

スペーサーガラス

特長

ウェーハ全体と拡大図

デバイスウェーハとの接合歩留まりを向上

穴周辺部のダレを抑制

チッピングを低減

  • ≦10μmまで対応可能

オプション

ガラス加工時に発生するマイクロクラックを除去し、パーティクルをコントロール

  • EMSデバイスと接合後に発生する、パーティクルによる動作不良を低減

※横にスクロールしてご覧ください。

標準仕様
材 料 各種ガラス
ガラスサイズ ≦φ200mm
最小厚み 0.15mm
厚み公差 ±0.01mm
最小穴径 φ0.3mm
穴形状 自由形状
穴径公差 ±0.02mm
チッピング ≦100μm
貫通穴断面形状 ストレート/テーパー/段付き
メタライズ加工 可能

※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。

穴全体写真Aと顕微鏡写真B
穴全体写真Bと顕微鏡写真B
穴全体写真Aと顕微鏡写真B

市場・用途

プロジェクタ

  • プロジェクタ用映像表示デバイスなど

半導体

  • RF-MEMSスイッチなど
  • イメージセンサなど

AVモバイル

  • 携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ、カーナビ)用RFスイッチ・リレー、圧力センサ、ジャイロセンサ、加速度センサ、イメージセンサなど
  • 携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ)用映像表示デバイスなど
  • ピコプロジェクタ用映像表示デバイスな

車載

  • 各種圧力センサ、各種加速度センサなど
  • ジャイロセンサなど
  • LEDなど

バイオメディカル

  • 分析装置(DNA、創薬スクリーニング)用分析チップなど
  • 分析装置(生化学反応、電気泳動)用マイクロリアクタなど
  • 化学センサ、微生物検出センサ用バイオリアクタなど
  • 産業用ガス検知センサなど

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