スペーサーガラス
概要
MEMSをはじめとする半導体基板と組み合わせて多層構造の実装に最適。
特長
デバイスウェーハとの接合歩留まりを向上
穴周辺部のダレを抑制
チッピングを低減
- ≦10μmまで対応可能
オプション
ガラス加工時に発生するマイクロクラックを除去し、パーティクルをコントロール
- EMSデバイスと接合後に発生する、パーティクルによる動作不良を低減
※横にスクロールしてご覧ください。
| 標準仕様 | |
|---|---|
| 材 料 | 各種ガラス |
| ガラスサイズ | ≦φ200mm |
| 最小厚み | 0.15mm |
| 厚み公差 | ±0.01mm |
| 最小穴径 | φ0.3mm |
| 穴形状 | 自由形状 |
| 穴径公差 | ±0.02mm |
| チッピング | ≦100μm |
| 貫通穴断面形状 | ストレート/テーパー/段付き |
| メタライズ加工 | 可能 |
※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。
市場・用途
プロジェクタ
- プロジェクタ用映像表示デバイスなど
半導体
- RF-MEMSスイッチなど
- イメージセンサなど
AVモバイル
- 携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ、カーナビ)用RFスイッチ・リレー、圧力センサ、ジャイロセンサ、加速度センサ、イメージセンサなど
- 携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ)用映像表示デバイスなど
- ピコプロジェクタ用映像表示デバイスな
車載
- 各種圧力センサ、各種加速度センサなど
- ジャイロセンサなど
- LEDなど
バイオメディカル
- 分析装置(DNA、創薬スクリーニング)用分析チップなど
- 分析装置(生化学反応、電気泳動)用マイクロリアクタなど
- 化学センサ、微生物検出センサ用バイオリアクタなど
- 産業用ガス検知センサなど