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キャビティーガラス
/キャップガラス

概要

ガラス基板内部に高精度なキャビティーを形成。窓部は薄くかつ透明化が可能のため、レーザー光やLED光をゆがみなく透過させたり、窓部を通して液浸顕微鏡で観察させたりする用途に適します。

キャビティーガラス/キャップガラス

特長

キャビティー底面の透明加工が可能

通常キャビティ―加工
キャビティー底面透明加工

拡大図

拡大図

拡大図

側壁面へのメタライズが可能

側壁面へのメタライズが可能
キャビティー底面部角度

拡大図

キャビティー底面透明加工+底壁面メタライズ

拡大図

用 途

キャビティーガラス/キャップガラス

CMOSセンサ用キャップ

観察/分析チップ

観察/分析チップ

LD/LED 光源用キャップ

LD/LED 光源用キャップ

※横にスクロールしてご覧ください。

標準仕様
材 料 各種ガラス
ガラスサイズ ≦φ200mm
最小厚み 0.15mm
厚み公差 ±0.01mm
最小キャビティーサイズ φ0.1mm/□0.07mm
キャビティー形状 制約なし
キャビティー形状公差 ±0.02mm
チッピング ≦10μm
キャビティー断面形状 ストレート/テーパー/段付き
メタライズ加工 平面および側壁面に可能

※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。

市場・用途

プロジェクタ

  • プロジェクタ用映像表示デバイスなど

半導体

  • RF-MEMSスイッチなど
  • イメージセンサなど

AVモバイル

  • 携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ、カーナビ)用RFスイッチ・リレー、圧力センサ、ジャイロセンサ、加速度センサ、イメージセンサなど
  • 携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ)用映像表示デバイスなど
  • ピコプロジェクタ用映像表示デバイスな

車載

  • 各種圧力センサ、各種加速度センサなど
  • ジャイロセンサなど
  • LEDなど

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