キャビティーガラス
/キャップガラス
概要
ガラス基板内部に高精度なキャビティーを形成。窓部は薄くかつ透明化が可能のため、レーザー光やLED光をゆがみなく透過させたり、窓部を通して液浸顕微鏡で観察させたりする用途に適します。

特長
キャビティー底面の透明加工が可能


拡大図

拡大図
側壁面へのメタライズが可能


拡大図

拡大図
用 途

CMOSセンサ用キャップ

観察/分析チップ

LD/LED 光源用キャップ
※横にスクロールしてご覧ください。
標準仕様 | |
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材 料 | 各種ガラス |
ガラスサイズ | ≦φ200mm |
最小厚み | 0.15mm |
厚み公差 | ±0.01mm |
最小キャビティーサイズ | φ0.1mm/□0.07mm |
キャビティー形状 | 制約なし |
キャビティー形状公差 | ±0.02mm |
チッピング | ≦10μm |
キャビティー断面形状 | ストレート/テーパー/段付き |
メタライズ加工 | 平面および側壁面に可能 |
※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。
市場・用途
プロジェクタ
- プロジェクタ用映像表示デバイスなど
半導体
- RF-MEMSスイッチなど
- イメージセンサなど
AVモバイル
- 携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ、カーナビ)用RFスイッチ・リレー、圧力センサ、ジャイロセンサ、加速度センサ、イメージセンサなど
- 携帯機器(スマートフォン、携帯ゲーム機、デジカメ)用映像表示デバイスなど
- ピコプロジェクタ用映像表示デバイスなど
車載
- 各種圧力センサ、各種加速度センサなど
- ジャイロセンサなど
- LEDなど