TGV(CuめっきVia)
特長
![電子部品の小型軽量化、高性能化に伴い、凹凸のある形状に メタル配線を形成することが可能になりました](/dcms_media/image/tgv_img01.jpg)
- ガラス内部にCu電極成形されており、電子部品の小型化が図れる
- ガラスは光学面で仕上がっており透過率も素材同等
製品基本仕様
![TGV(CuめっきVia)](/dcms_media/image/tgv_img0201.jpg)
【X型めっき】開口径 60um
![TGV(CuめっきVia)](/dcms_media/image/tgv_img0203.jpg)
ガラス材質 | 合成石英・TEMPAX無アルカリガラス |
ウエーハサイズ | ~200mm |
ウエーハ厚み | ~0.5mm |
平面度 | < 0.1mm(8inch) |
Via径 | 0.05~0.3mm |
素材間段差 | < 0.1um |
【X型めっき】開口径 60um
ガラス材質 | 合成石英・TEMPAX無アルカリガラス |
ウエーハサイズ | ~200mm |
ウエーハ厚み | ~0.5mm |
平面度 | < 0.1mm(8inch) |
Via径 | 0.05~0.3mm |
素材間段差 | < 0.1um |