TGV（CuめっきVia）
特長
- ガラス内部にCu電極成形されており、電子部品の小型化が図れる
- ガラスは光学面で仕上がっており透過率も素材同等
製品基本仕様
【Ｘ型めっき】開口径 60um
| ガラス材質 | 合成石英・TEMPAX無アルカリガラス |
| ウエーハサイズ | ～200mm |
| ウエーハ厚み | ～0.5mm |
| 平面度 | ＜ 0.1mm（8inch） |
| Via径 | 0.05~0.3mm |
| 素材間段差 | ＜ 0.1um |
【Ｘ型めっき】開口径 60um
| ガラス材質 | 合成石英・TEMPAX無アルカリガラス |
| ウエーハサイズ | ～200mm |
| ウエーハ厚み | ～0.5mm |
| 平面度 | ＜ 0.1mm（8inch） |
| Via径 | 0.05~0.3mm |
| 素材間段差 | ＜ 0.1um |