Si＋Glass一体基板
特長
- シリコンとガラスが同一平面に成形され、ガラスは光学ミラーに仕上がっており透過率も素材同等
- 絶縁体、導電体、遮光体の機能にも使える
製品基本仕様
| ガラス材質 | TEMPAX |
| ウエーハサイズ | ～200mm |
| ウエーハ厚み | 0.3～2.0mm |
| 平面度 | ＜ 0.1mm（8inch） |
| TTV | ＜ 0.01mm |
| 素材間段差 | ＜ 0.1um |
| ガラス材質 | TEMPAX |
| ウエーハサイズ | ～200mm |
| ウエーハ厚み | 0.3～2.0mm |
| 平面度 | ＜ 0.1mm（8inch） |
| TTV | ＜ 0.01mm |
| 素材間段差 | ＜ 0.1um |