製品開発から製造まで、クロスエッジ®技術でモノづくりを支える株式会社テクニスコ

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メッシュガラス

概要

メッシュガラス
メッシュガラス
クロスセクション

従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能。

特長

微細貫通穴と高アスペクト比の両立

0.1mm×0.1mmの多数貫通穴加工

  • (例)3インチウェーハで150,000穴

高アスペクト比(1:8〜10)において貫通穴形状の選択が可能

  • ストレート形状、テーパー形状に対応

チッピングレスを実現

  • Siとの陽極接合時のコンタクト性が向上

オプション

側壁面へのメタライズが可能

  • 光の干渉・吸収を防止

キャビティー形状も可能

※横にスクロールしてご覧ください。

標準仕様
材 料 テンパックス 他
ガラスサイズ ≦φ150mm
最小厚み 0.25mm
厚み公差 ±0.01mm
最小穴径 □0.07mm
穴径公差 ±0.02mm
最大アスペクト比 1 : 10
パーティクル処理 可能
貫通穴形状 ストレート/テーパー

※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。

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