メッシュガラス
概要
従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能。
特長
微細貫通穴と高アスペクト比の両立
0.1mm×0.1mmの多数貫通穴加工
- （例）3インチウェーハで150,000穴
高アスペクト比（1：8〜10）において貫通穴形状の選択が可能
- ストレート形状、テーパー形状に対応
チッピングレスを実現
- Siとの陽極接合時のコンタクト性が向上
オプション
側壁面へのメタライズが可能
- 光の干渉・吸収を防止
キャビティー形状も可能
※横にスクロールしてご覧ください。
| 標準仕様 | |
|---|---|
| 材 料 | テンパックス 他 |
| ガラスサイズ | ≦φ150mm |
| 最小厚み | 0.25mm |
| 厚み公差 | ±0.01mm |
| 最小穴径 | □0.07mm |
| 穴径公差 | ±0.02mm |
| 最大アスペクト比 | 1 : 10 |
| パーティクル処理 | 可能 |
| 貫通穴形状 | ストレート/テーパー |
※上記標準仕様以外のご要望については、別途ご相談下さい。