製品開発から製造まで、クロスエッジ®技術でモノづくりを支える株式会社テクニスコ

  1. 株式会社テクニスコ
  2. 製品情報
  3. ガラス製品
  4. 小径穴ガラス

小径穴ガラス

概要

小径穴ガラス
小径穴ガラス

接着剤を使用しない陽極接合ができるため、アウトガス問題を解決。 ウェーハレベルパッケージ(WLP)対応可。

特長

小径穴加工

  • 最小φ0.1mmを実現

φ300 mmウェーハまで対応可能

(一部加工に関してはφ200mmまでの対応となります)

デバイスウェーハとの接合歩留まりを向上

穴周辺部のダレを抑制

穴周辺部のダレを抑制

  • ≦10μmまで対応可能

※横にスクロールしてご覧ください。

標準仕様
材 料 各種ガラス
ガラスサイズ ≦φ300mm(*)
最小厚み 0.15mm
厚み公差 ±0.01mm
最小穴径 φ0.1mm
穴形状 制約なし
穴径公差 ±0.02mm
チッピング ≦100μm
貫通穴断面形状 ストレート/テーパー/段付き
メタライズ加工 可能

熱膨張マッチング構造(Cu-Mo-Cuの7層構造でCTEをコントロール)

穴周辺部比較

特殊研磨品

特殊研磨品
ダレ量
<10μm
深さ <0.1μm

通常研磨品

通常研磨品
ダレ量
>400μm
深さ >0.7μm

チッピング比較

特殊研磨品

特殊研磨品

通常研磨品

通常研磨品

市場・用途

車載

  • 各種圧力センサ、各種加速度センサなど
  • ジャイロセンサなど

半導体

  • RF-MEMSスイッチなど
  • イメージセンサなど

お電話からのお問い合わせはこちら

ご質問やお問い合わせはこちら