小径穴ガラス
概要
接着剤を使用しない陽極接合ができるため、アウトガス問題を解決。 ウェーハレベルパッケージ(WLP)対応可。
特長
小径穴加工
- 最小φ0.1mmを実現
φ300 mmウェーハまで対応可能
（一部加工に関してはφ200mmまでの対応となります）
デバイスウェーハとの接合歩留まりを向上
穴周辺部のダレを抑制
穴周辺部のダレを抑制
- ≦10μmまで対応可能
※横にスクロールしてご覧ください。
| 標準仕様 | |
|---|---|
| 材 料 | 各種ガラス |
| ガラスサイズ | ≦φ300mm(*) |
| 最小厚み | 0.15mm |
| 厚み公差 | ±0.01mm |
| 最小穴径 | φ0.1mm |
| 穴形状 | 制約なし |
| 穴径公差 | ±0.02mm |
| チッピング | ≦100μm |
| 貫通穴断面形状 | ストレート/テーパー/段付き |
| メタライズ加工 | 可能 |
熱膨張マッチング構造（Cu-Mo-Cuの7層構造でCTEをコントロール）
穴周辺部比較
特殊研磨品
| ダレ量 | |
| 幅 | ＜10μm |
| 深さ | ＜0.1μm |
通常研磨品
| ダレ量 | |
| 幅 | ＞400μm |
| 深さ | ＞0.7μm |
チッピング比較
特殊研磨品
通常研磨品
市場・用途
車載
- 各種圧力センサ、各種加速度センサなど
- ジャイロセンサなど
半導体
- RF-MEMSスイッチなど
- イメージセンサなど