网孔玻璃
概要
实现了以前“不可能”做出的无R角四方孔的加工技术，还可提供微小孔径和微小间距的加工。
优点
微密孔和高孔深孔径比的并存
0.1×0.1mm 的多孔加工
- （例） 3英寸晶片150，000个孔
高孔深孔径比（1:8 〜 1:10）,选择贯通孔的形状
- 可选直形和锥形
实现无崩边
- 提高和Si阳极键合时的接触性
选项
侧面可金属化
- 防止光的干涉和吸收
可对内腔成形
※水平滚动查看。
| 标准规格 | |
|---|---|
| 材 料 | BF33等 |
| 玻璃尺寸 | ≦φ150mm |
| 最小厚度 | 0.25mm |
| 厚度公差 | ±0.01mm |
| 最小孔径 | □0.07mm |
| 孔径公差 | ±0.02mm |
| 最大孔深孔径比 | 1 : 10 |
| 尘粒处理 | 可能 |
| 贯通孔形状 | 直形/ 锥形 |
※上述标准规格以外的要求，可通过其他途径进行商讨