网孔玻璃
概要



实现了以前“不可能”做出的无R角四方孔的加工技术,还可提供微小孔径和微小间距的加工。
优点
微密孔和高孔深孔径比的并存
0.1×0.1mm 的多孔加工
- (例) 3英寸晶片150,000个孔
高孔深孔径比(1:8 〜 1:10),选择贯通孔的形状
- 可选直形和锥形
实现无崩边
- 提高和Si阳极键合时的接触性
选项
侧面可金属化
- 防止光的干涉和吸收
可对内腔成形
※水平滚动查看。
标准规格 | |
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材 料 | BF33等 |
玻璃尺寸 | ≦φ150mm |
最小厚度 | 0.25mm |
厚度公差 | ±0.01mm |
最小孔径 | □0.07mm |
孔径公差 | ±0.02mm |
最大孔深孔径比 | 1 : 10 |
尘粒处理 | 可能 |
贯通孔形状 | 直形/ 锥形 |
※上述标准规格以外的要求,可通过其他途径进行商讨