内腔玻璃/封盖玻璃
概要
在玻璃基板内部形成高精度内腔。因为薄而透明的内腔可让激光和LD光直线通过， 适用于通过内腔口来观察的浸液式显微镜。
优点
可对内腔底面进行透明加工
放大图
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可对侧壁面金属化
放大图
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用 途
CMOS 传感器用封盖
观察/分析芯片
LD / LED 光源用封盖
※水平滚动查看。
| 标准规格 | |
|---|---|
| 材 料 | 各种玻璃 |
| 玻璃尺寸 | ≦φ200mm |
| 最小厚度 | 0.15mm |
| 厚度公差 | ±0.01mm |
| 最小内腔尺寸 | φ0.1mm/□0.07mm |
| 内腔形状 | 没有限制 |
| 内腔形状公差 | ±0.02mm |
| 崩边 | ≦10μm |
| 内腔断面形状 | 直/锥形/ 阶梯状 |
| 金属化加工 | 平面以及侧面都能加工 |
※上述标准规格以外的要求，可通过其他途径进行商讨
市场/ 用途
投影仪
- 投影仪的显示器
半导体
- RF-MEMS开关
- 信息传感器
AV 移动通信
- 便携产品（智能手机，便携式游戏机，数码相机，汽车导航）用RF开关/继电器， 压力传感器，回旋传感器，加速传感器，信息传感器
- 便携产品（智能手机，便携式游戏机，数码相机）用的图像显示器
- 微型投影仪用的图像显示器
车载
- 各种压力传感器，各种加速传感器
- 回旋传感器
- LED