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Si＋Glass一体基板

概要

Si＋Glass一体基板
  • 可使硅与玻璃在同一平面、玻璃可在光学面进行精加工、透光率与原材料相同
  • 可做为绝缘体、导体、遮光体功能使用

产品基本式样

Si＋Glass一体基板
Si＋Glass一体基板
玻璃材质 TEMPAX
晶圆尺寸 ～200mm
晶圆厚度 0.3～2.0mm
平面度 ＜ 0.1mm（8inch）
TTV ＜ 0.01mm
原材料间高度差 ＜ 0.1um

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