硅产品
概要
通过"Cross-edge"技术和全面的品质管控，提供高可靠性的硅产品。
通过对各工艺持续不断的创新来提供客户所需的硅产品。
优点
通过采用超高纯度的硅材料（单结晶/多结晶），实现了把尘粒污染抑制到最小限度的高品质工艺.由于和硅晶片拥有同等特性（热传导 率，比热，热膨胀率），所以产品的损伤少，能提高成品率以及产能.良好的热传导性，使产品的金属膜厚的分布均一和安定。
良好的耐热性，耐腐蚀性，在高温过程中，可提高耐久性。
可进行高精度，复杂形状的加工，100%对应客户的需求。
因为是纯硅材料，所以没有因分层而引起的污染，实现高信赖性。
硅产品
| CVD 密封环 （可对应固定夹具・各种装置） |
调焦环 | 洗浄工具 |
| 圆顶内壁板 | 管 | 销 |
| 光道波路玻璃片夹具 （固定夹具・可对应各种装置） |
工作台 | 喷嘴 |
假片
出售晶片切断时的预切割和试验，评价用的假片
【标准规格】
表面是单镜面/单面蚀刻，可对应下面的外径，厚度的变化。
| 外径 | 厚(μm) | ||
|---|---|---|---|
| 4英寸 | ①400〜700 | ②500±25 | ③530±25 |
| 5英寸 | ①500〜700 | ②550±25 | ③625±25 |
| 6英寸 | ①500〜700 | ②450±50 | ③625±25 |
| 8英寸 | ①725〜25 | ②725±50 | |
| 12英寸 | ①775±50 | ||
交货形态基本为美元，根据式样规格可交货。
【其他】
根据式样规格，提供前工程用的无尘晶片(0.2μm以上30個以下）。
Si/陶瓷等加工实例
Si/Al2O3/AL/蓝宝石等的高精度精微加工。可切断宽度100μm的棒，积极地对应减低崩边的商谈。
擅长减低陶瓷成膜时的金属毛刺。
